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随着我国科技的进步,等离子清洗机又称等离子去胶机在现代工业上高速发展,原因也很简单,选择等离子去胶机是因为它操作简单、工作效率高、低成本、环保且去胶后表面光洁。等离子去胶机在使用中四大影响要素。
一、 等离子去胶机调整合适的频率:
频率越高,氧越易电离构成等离子体。频率太高,以致电子振幅比其平均自由程还短,则电子与气体分子磕碰概率反而减少,使电离率降低。通常常用频率为 13.56MHz及2.45GHZ 。
二、 等离子去胶机调整合适功率:
关于必定量的气体,功率大,等离子体中的的活性粒子密度也大,去胶速度也快;但当功率增大到必定值,反响所能耗费的活性离子到达饱满,功率再大,去胶速度则无显着添加。由于功率大,基片温度高,所以应根据技术需求调理功率。
三、 等离子去胶机调整适合的真空度:
恰当的真空度,可使电子运动的平均自由程变大,因而从电场取得的能量就大,有利电离。别的当氧气流量必守时,真空度越高,则氧的相对份额就大,发生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高,活性粒子浓度反而会减小。
四、 等离子去胶机氧气流量的调整:
氧气流量大,活性粒子密度大,去胶速率加速;但流量太大,则离子的复合概率增大,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而降低。若反响室压力不变,流量增大,则被抽出的气体量也添加,其间尚没参与反响的活性粒子抽出量也随之添加, 因而流量添加对去胶速率的影响也就不甚显着。
等离子体其中包括原子、分子、离子、电子、活性基团、激发态原子、活化的分子及自由基,这些粒子的能量和活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,从而有些化学键被打开后结合上氧原子等高活性的物质,使得材料表面亲水性得到极大提高,同时对材料表面的油污等有机大分子新的化学反应,生成气态小分子,例如二氧化碳,水气等气态物质被真空泵抽走,从而达到对材料表面分子级别的清洗。
在粘接/bonding/印刷/喷漆/镀膜/封装等工序时让产品可靠性更高,良品率更好。
型号 | PT-60-HF | |
整机尺寸(mm) | 785(W)×800(D)×1800(H) | |
重量(Kg) | 280 | |
真空腔体 | W400mm;D400mm;H400mm | |
托盘 | W360mm;D360mm | |
射频电源 | 输出频率 | 13.56MHz |
功率 | 500W / 1KW | |
负载阻抗 | 50Ω | |
真空测量 | 量程 | 1×10-2~1×105 |
工艺气路 | 2路工艺气体管道 | MFC质量流量计 |
控制系统 | 西门子PLC+MCGS触摸屏 | |
软件功能 | 手动模式和自动模式 | |
真空泵 | 可选油泵或干泵 | |
外部电源 | 380V;50/60Hz | |
其他说明 | 设备配置可根据要求定制 |
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