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当前产品微电子行业真空等离子机
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真空式等离子清洗机微电子行业应用:专为封装厂家定制,用于打线、封胶、植球前的基板清洗,提高产品良率;对于铜支架打铜线的工艺效率尤为明显等
等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。等离子与材料表面可产生的反应主要有两种,一种是靠自由基来做化学反应,另一种则是靠等离子作物理反应。
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