半导体超声波雾化喷胶机

主要特点

• 喷雾式涂布机主要用于开发研究和各种半导体器件（MEMS)和微机械。对应于超厚膜涂层，

它是很难通过常规的旋涂机微粒的化学溶液，以使通过的特殊定制的喷雾喷嘴水平薄涂层。

• 被涂覆的部分上，可以形成均匀的膜是困难的，在传统的离心器，如在基板上的倾斜表面和

梯形槽顶点。我们还支持基板贯通孔用于固定样品的未经使用的真空抽吸。